冲洗型 / 循环型：超纯水温控系列两种模式解析

2026 年 5 月 11 日行业新闻半导体chiller200

超纯水温控系列 CHILLER 制冷循环器支持冲洗型与循环型两种运行模式，两种模式在介质流向、运行逻辑与适配场景上存在差异，可根据制程需求灵活选择，以下详细解析两种模式的特点与应用场景。

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冲洗型模式的核心特点是介质单次使用、直接排出。运行时，超纯水经设备冷却至目标温度后，直接输送至目标制程设备，完成换热后排出系统，不参与循环。该模式的优势在于介质始终为新鲜超纯水，可避免循环过程中的杂质累积，保障介质洁净度，适配对介质洁净度要求ji高的单工位制程，如半导体晶圆清洗、光刻后冲洗等环节。冲洗型模式下，设备需持续供给新鲜超纯水，介质消耗较大，因此更适合制程负荷稳定、对洁净度要求严苛的场景。

循环型模式的核心特点是介质闭环循环、重复使用。运行时，超纯水经设备冷却后输送至目标设备，完成换热后回流至设备内部，再次经过制冷循环处理，重新输送至目标设备，形成闭环。该模式的优势在于介质可重复使用，减少超纯水消耗，降低运行成本，适配多工位、连续运行的制程场景，如半导体量产线的批量设备温控。循环型模式下，设备内置过滤器可去除介质中的杂质，维持介质洁净度，同时减少管路结垢，保障长期稳定运行。