超纯水温控 pure

water Chiller

product & project

核心技术与优势：
1、洁净度高：内置过滤器能有效防止水垢生成，从源头降低游离离子污染，保护冷却系统核心部件，显著提升运行效率；同时降低冷却水电导率，防止电流泄漏，避免对精密电子元件或加工过程造成电化学干扰。
2、控温精准：采用智能算法，实现系统动态温度快速响应、控制精度±0.1℃（可选配±0.01℃），具有良好的温度跟随性。
3、节约能耗:采用压缩机、泵变频自适应调节、软启动和余热回收技术，实现系统的高效节能。
4、适用场景：该chiller可替代氟利昂清洗，广泛适用于半导体晶圆、光伏电池、液晶面板及锂电池生产中的温纯水精密清洗。

25000㎡

生产车间

超3亿

年产值

16000+

服务客户提供控温解决方案

FLTZ-U超纯水

Chiller是由紧密耦合的制冷循环与介质循环两大核心系统构成，通过两个循环通道间的介质高效换热，实现对目标设备的精准、稳定温度控制。

原理：制冷剂在系统中循环，通过压缩、冷凝、节流和蒸发四个过程实现制冷；同时，载冷剂（介质）在独立的循环管路中流动，通过板换换热器将冷量持续输送给目标设备，并循环使用。

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FLTZ-U超纯水温控chiller

CHILLER超纯水温控系列
型号		FLTZ-U-003W	FLTZ-U-D001W		FLTZ-U-D002W		FLTZ-U-D003W
通道类型		1-loop independent	2-loop independent		2-loop independent		2-loop independent
性能参数	通道型号	CH1	CH1	CH2	CH1	CH2	CH1	CH2
	循环方式	冲洗型	循环型	循环型	循环型	冲洗型	循环型	冲洗型
	温度范围	15~40℃	15~40℃	15~40℃	15~40℃	15~40℃	15~40℃	15~40℃
	温度控制精度	±0.1℃	±0.1℃	±0.1℃	±0.1℃	±0.1℃	±0.1℃	±0.1℃
	冷却能力	9.4kW@20℃	0.6kW@20℃	0.6kW@20℃	1.5kW@20℃	6.3kW@20℃	3kW@20℃	6.2kW@20℃
	加热能力	10kW	0.6kW	2kW	1.5kW	12.5kW	3kW	12.5kW
	循环液类型/电阻率	DI WATER@10~18MΩ·cm	DI WATER@10~18MΩ·cm		DI WATER@10~18MΩ·cm		DI WATER@10~18MΩ·cm
	循环液流量压力	45LPM@0.4MPa	6LPM@0.45MPa	10LPM@0.43MPa	15LPM@0.45MPa	25LPM@0.43MPa	18LPM@0.45MPa	30LPM@0.43MPa
	循环液接口	Rc3/4	Rc3/8	Rc3/8	Rc1/2	Rc1/2	Rc1/2	Rc3/4
	PCW温度	18~22℃	18~22℃	18~22℃	18~22℃	18~22℃	18~22℃	18~22℃
	PCW流量	2m³/h	1.3m³/h	1.3m³/h	2m³/h	2m³/h	3.8m³/h	3.8m³/h
	PCW压力	2~6bar	2~6bar	2~6bar	2~6bar	2~6bar	2~6bar	2~6bar
	PCW接口	Rc3/4	Rc1/2	Rc1/2	Rc1/2	Rc1/2	Rc3/4	Rc3/4
安全装置	过载保护功能	压缩机、循环泵、加热器等热过载保护。
	电源保护功能	电源过电流、过欠压、缺相等保护
	液位保护	低流量、低液位等保护
	安全联锁装置	EMO+INTERLOCK
	上锁挂牌装置	LOTO装置
	漏液检测装置	设备内外部LEAK SENSON
通讯类型	支持多种通讯协议	支持MODBUS RTU/TCP协议或ETHERcAT、LONWORKS等。
安装环境	环境温度	10~40℃
安装环境	环境湿度	30~70%RH
电源		220VAC±10%，三相(可定制)
外形尺寸cm		4590150	4390150		45120150		65115170