多介质适配:常温高jing度系列设备技术解析
17高jing密制造场景中,不同制程对循环介质的电导率、腐蚀性、洁净度等要求存在差异,该系列设备支持氟化液、乙二醇水溶液、纯净水、DI 水等多种介质,可根据工艺需求灵活选择,适配不同制程的温控需求。
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高jing密制造场景中,不同制程对循环介质的电导率、腐蚀性、洁净度等要求存在差异,该系列设备支持氟化液、乙二醇水溶液、纯净水、DI 水等多种介质,可根据工艺需求灵活选择,适配不同制程的温控需求。
查看全文光刻是半导体制造的核心环节,过程中对设备温度的稳定性、均匀性有着明确要求,温度波动会直接影响光刻胶的曝光效果,进而影响芯片关键尺寸,常温高精度系列 CHILLER 设备以 ±0.005℃的控温精度,适配光刻工艺的温控需求。
查看全文控温jing度是超纯水温控系列 CHILLER 制冷循环器的核心技术指标,该系列设备标准控温jing度为 ±0.1℃,可定制 ±0.01℃高jing度配置,通过多项技术优化实现稳定控温,适配半导体等行业对温度稳定性的严苛要求。
查看全文工业gao端制造与jing密测试场景,如半导体超低温工艺、航空电子部件冷却、特种材料低温加工、jing密仪器超低温冷却等,常需 - 80℃至 + 50℃的超低温冷却环境,对设备的超低温输出稳定性与控温jing度要求ji高。FLTZ -80~+50℃制冷循环器,依托复叠制冷技术,可稳定输出...
查看全文工业中低温工艺(-40℃至 + 90℃),如半导体芯片测试、电子元件温度循环实验、新材料低温性能研究、化工中低温反应等,对温度稳定性、控温jing度与设备可靠性要求严格。FLTZ -40~+90℃制冷循环器,专为工业中低温场景设计,可提供jing准、稳定的中低温环境,适配各类工...
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