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Chiller 直冷型

ZLTZ直冷控温机组Chiller

product & project

新型直冷机适用于半导体、数据中心、新能源等需要高效、紧凑、可靠且精确散热的行业,尤其是在功率密度高、空间受限且对温度敏感的领域有显着优势。新型直冷机无二次换热,相比于传统液冷设备,减少二次换热带来的传热损失,提升能效30%以上。新型直冷机能够提供纯液态的换热介质,相比于传统直冷机气液两相混合的换热介质,新型直冷机充分利用制冷剂的潜热换热,换热密度大幅提高,所需的换热面积减少,能够满足半导体等行业高功率密度的需求。新型直冷机具备多路供液的能力,可精确控制每个支路的制冷量,满足各
支路的控温需求。新型直冷机采用PT100高精度温度传感器和PID智能控制系统,温度误差范围极小,控温精确可靠。

直冷控温机组Chiller

特点一

适⽤于高放热量控温运⽤,同流量⼯况下相对于导热油换热控温传热效率5倍以上

特点二

⼀台ZLTZ控温机组带多个ESC Chuck控制不同的温度

特点三

适⽤于高吸热、高均匀性控温运⽤,更换冷板时,制冷剂可⾃动回收

特点四

Chuck200℃恒温控温时,制冷系统供应冷量,设备可正常⻓时间运⾏

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-10℃ ~25℃
型号ZLTZ-3
ZLTZ-3W
ZLTZ-6
ZLTZ-6W
ZLTZ-10
ZLTZ-10W
ZLTZ-15W
温度范围 -10℃ ~25℃
制冷量0℃8.1kW16.25kW28.5kW40.2kW
-10℃5.48kW11kW19.35kW26.6kW
接口尺寸出口φ12φ12φ28φ28
回口φ20φ20φ35φ35
水冷25℃2m3/h4m3/h6.2m3/h10m3/h
冷却水接口Rc3/4Rc3/4Rc1Rc1 1/4
 -40℃ ~20℃
型号ZLTZ4-3
ZLTZ4-3W
ZLTZ4-6
ZLTZ4-6W
ZLTZ4-10
ZLTZ4-10W
ZLTZ4-15W
温度范围 -40℃ ~20℃
制冷量-10℃5.2kW11.15kW18.4kW26.3kW
-20℃3.47kW7.41kW12.3kW18.35kW
-30℃2.24kW4.81kW7.92kW11.8kW
-40℃1.36kW2.95kW4.7kW5.83kW
接口尺寸出口φ12φ12φ16φ22
回口φ22φ22φ35φ35
水冷25℃2m3/h4.2m3/h5.3m3/h6.2m3/h
冷却水接口Rc3/4Rc3/4Rc3/4Rc1
-80℃~ -30℃
型号ZLTZ8-3
ZLTZ8-3W
ZLTZ8-6
ZLTZ8-6W
ZLTZ8-10
ZLTZ8-10W
ZLTZ8-15W
温度范围 -80℃~ -30℃
制冷量-30℃
-40℃6.9kW14.8kW24.4kW36.7kW
-60℃3.3kW7.1kW12kW17.4kW
-75℃1.65kW3.55kW6kW8.7kW
接口尺寸出口φ12φ12φ16φ22
回口φ22φ22φ35φ35
水冷25℃2.7m3/h5.3m3/h6.68m3/h9.3m3/h
冷却水接口Rc3/4Rc3/4Rc1Rc1 1/4

产品优势:

-80~25℃控温范围
±5℃控温精度
5000+年产量


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