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新型直冷机适用于半导体、数据中心、新能源等需要高效、紧凑、可靠且精确散热的行业,尤其是在功率密度高、空间受限且对温度敏感的领域有显着优势。新型直冷机无二次换热,相比于传统液冷设备,减少二次换热带来的传热损失,提升能效30%以上。新型直冷机能够提供纯液态的换热介质,相比于传统直冷机气液两相混合的换热介质,新型直冷机充分利用制冷剂的潜热换热,换热密度大幅提高,所需的换热面积减少,能够满足半导体等行业高功率密度的需求。新型直冷机具备多路供液的能力,可精确控制每个支路的制冷量,满足各
支路的控温需求。新型直冷机采用PT100高精度温度传感器和PID智能控制系统,温度误差范围极小,控温精确可靠。
特点一
适⽤于高放热量控温运⽤,同流量⼯况下相对于导热油换热控温传热效率5倍以上
特点二
⼀台ZLTZ控温机组带多个ESC Chuck控制不同的温度
特点三
适⽤于高吸热、高均匀性控温运⽤,更换冷板时,制冷剂可⾃动回收
特点四
Chuck200℃恒温控温时,制冷系统供应冷量,设备可正常⻓时间运⾏




| 型号 | ZLTZ-3 ZLTZ-3W | ZLTZ-6 ZLTZ-6W | ZLTZ-10 ZLTZ-10W | ZLTZ-15W | |
| 温度范围 | -10℃ ~25℃ | ||||
| 制冷量 | 0℃ | 8.1kW | 16.25kW | 28.5kW | 40.2kW |
| -10℃ | 5.48kW | 11kW | 19.35kW | 26.6kW | |
| 接口尺寸 | 出口 | φ12 | φ12 | φ28 | φ28 |
| 回口 | φ20 | φ20 | φ35 | φ35 | |
| 水冷 | 25℃ | 2m3/h | 4m3/h | 6.2m3/h | 10m3/h |
| 冷却水接口 | Rc3/4 | Rc3/4 | Rc1 | Rc1 1/4 | |
| 型号 | ZLTZ4-3 ZLTZ4-3W | ZLTZ4-6 ZLTZ4-6W | ZLTZ4-10 ZLTZ4-10W | ZLTZ4-15W | |
| 温度范围 | -40℃ ~20℃ | ||||
| 制冷量 | -10℃ | 5.2kW | 11.15kW | 18.4kW | 26.3kW |
| -20℃ | 3.47kW | 7.41kW | 12.3kW | 18.35kW | |
| -30℃ | 2.24kW | 4.81kW | 7.92kW | 11.8kW | |
| -40℃ | 1.36kW | 2.95kW | 4.7kW | 5.83kW | |
| 接口尺寸 | 出口 | φ12 | φ12 | φ16 | φ22 |
| 回口 | φ22 | φ22 | φ35 | φ35 | |
| 水冷 | 25℃ | 2m3/h | 4.2m3/h | 5.3m3/h | 6.2m3/h |
| 冷却水接口 | Rc3/4 | Rc3/4 | Rc3/4 | Rc1 | |
| 型号 | ZLTZ8-3 ZLTZ8-3W | ZLTZ8-6 ZLTZ8-6W | ZLTZ8-10 ZLTZ8-10W | ZLTZ8-15W | |
| 温度范围 | -80℃~ -30℃ | ||||
| 制冷量 | -30℃ | ||||
| -40℃ | 6.9kW | 14.8kW | 24.4kW | 36.7kW | |
| -60℃ | 3.3kW | 7.1kW | 12kW | 17.4kW | |
| -75℃ | 1.65kW | 3.55kW | 6kW | 8.7kW | |
| 接口尺寸 | 出口 | φ12 | φ12 | φ16 | φ22 |
| 回口 | φ22 | φ22 | φ35 | φ35 | |
| 水冷 | 25℃ | 2.7m3/h | 5.3m3/h | 6.68m3/h | 9.3m3/h |
| 冷却水接口 | Rc3/4 | Rc3/4 | Rc1 | Rc1 1/4 | |
产品优势:
Chiller 直冷型适用于半导体晶圆厂的刻蚀、化学气相沉积、物理气相沉积工艺制程,对ETCH、CVD、PVD制程设备的反应腔体进行精确控温