±0.1℃控温jing度：超纯水温控系列技术特点

2026 年 5 月 11 日行业新闻半导体chiller170

控温jing度是超纯水温控系列 CHILLER 制冷循环器的核心技术指标，该系列设备标准控温jing度为 ±0.1℃，可定制 ±0.01℃高jing度配置，通过多项技术优化实现稳定控温，适配半导体等行业对温度稳定性的严苛要求。

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控温jing度的实现依托于智能控制算法，设备采用智能算法结合串级控制逻辑，实时采集介质出口温度、目标设备温度等参数，通过动态调节压缩机频率、加热功率与介质流量，实现温度的快速响应与稳定控制，减少温度过冲与波动，保障控温jing度稳定。

制冷循环系统采用jing密部件，减少制冷过程中的温度偏差。压缩机采用变频技术，可根据负载变化自动调节运行功率，避免满负荷运行导致的温度波动；冷凝器与蒸发器采用高xiao换热结构，提升换热xiao率，减少换热过程中的温度损失；节流部件采用jing密调节结构，可jing准控制制冷剂流量，保障制冷过程的稳定性。

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介质循环系统采用低阻力管路与jing密流量控制，减少介质流动过程中的温度变化。管路采用高密封、低导热材质，减少外界环境温度对介质的影响；循环泵采用变频控制，可根据制程需求调节介质流量，保障流量稳定，减少流量波动导致的温度偏差；设备内置过滤器，可去除介质中的杂质，避免管路堵塞影响介质流动，保障换热xiao率稳定。

温度检测采用高jing度传感器，实时监测介质出口温度、目标设备温度，数据采集频率高，可快速反馈温度变化，为控制算法提供准确的参数依据，保障控温jing度稳定。设备支持温度曲线记录与导出，便于制程温度追溯，验证控温jing度是否符合制程要求。

±0.1℃的控温jing度，可有xiao减少温度波动对洁净制程的影响，保障半导体、光伏等行业制程的稳定性与产品一致性，±0.01℃的定制配置则可适配对温度稳定性要求更高的jing密制程，为洁净制程提供可靠的温控支持。