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高端非标定制温度控制解决方案提供商
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高端非标定制温度控制解决方案提供商

zlj系列
温度控制范围:-150℃ 至 -15℃
适用于半导体晶圆厂的刻蚀、化学气相沉积、物理气相沉积工艺制程,对ETCH、CVD、PVD制程设备的反应腔体进行精确控温






| 型号 | ZLJ-41W | ZLJ-42W | ZLJ-43W |
| 温度范围 | -40℃~-15℃ | ||
| 控温精度 | ±1℃(出口温度稳态) | ||
| 制冷AT-35℃ | 0.25kW | 0.7kW | 1.5kW |
| 制冷剂 | R404A 可选配R507C R448 | ||
| 高温降温 | 具备高温150度直接降温技术,满足目标在高温运行时迅速进行降温能力 | ||
| 尺寸 cm | 20*57*65 | 30*55*65 | 33.5*60*65 |
| 型号 | ZLJ-81W | ZLJ-82W | ZLJ-83W |
| 温度范围 | -80℃~-50℃ | ||
| 控温精度 | ±1℃(出口温度稳态) | ||
| 制冷AT-70℃ | 0.3kW | 0.6kW | 1.5kW |
| 制冷剂 | R404A/R508B | ||
| 高温降温 | 具备高温150度直接降温技术,满足目标在高温运行时迅速进行降温能力 | ||
| 尺寸 cm | 20*57*65 | 30*55*65 | 33.5*60*65 |
| 型号 | SLJ-3W | SLJ-4W | SLJ-6W | SLJ-11W |
| 温度范围 | -150℃~-110℃ | |||
| 制冷AT-120℃ | 3kW | 4kW | 6kW | 11kW |
| 制冷AT-135℃ | 2.5kW | 3.3kW | 5kW | 9kW |
| 制冷剂 | LNEYA -150混合制冷剂 | |||
| 尺寸 cm | 75*75*175 | 75*75*175 | 95*100*205 | 130*200*350 |
| 断路器 | 40A | 55A | 65A | 100A |
产品优势:
Chiller 直冷型适用于半导体晶圆厂的刻蚀、化学气相沉积、物理气相沉积工艺制程,对ETCH、CVD、PVD制程设备的反应腔体进行精确控温