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冠亚恒温小编为大家讲解冠亚恒温研发的面板CHILLER系列,该系列是冠亚专为面板制程设计的专用温控设备,包含单通道、双通道、三通道、四通道多种型号,适配薄膜沉积、刻蚀、OLED真空镀膜、Micro-LED热量转移、激光加工等面板工艺环节,核心优势在于多通道独立温控,以下详细解析该系列的核心技术特点。

多通道独立温控是该系列的核心技术特点,设备采用1-loop、2-loop、3-loop、4-loop独立通道设计,各通道之间互不干扰,可分别控制不同工艺环节的温度,适配面板制程中不同工位的差异化温控需求。以四通道型号为例,CH1、CH2通道温度范围为-20℃~+90℃,CH3、CH4通道温度范围为+30℃~+120℃,各通道可独立设定温度参数。
各通道均配备独立的循环系统与控制模块,控温精度可达±0.1℃,部分型号可达到±0.01℃,温度波动小,能够满足面板制程对温度一致性的严格要求。技术配置方面,该系列设备的温度范围整体覆盖-20℃~+120℃,冷却能力与加热能力随型号不同进行调整,适配不同工艺环节的冷热负荷需求。其中,单通道型号冷却能力21kW@25℃,加热能力2kW;双通道型号冷却能力35kW@5℃,加热能力4kW;三通道型号冷却能力30kW@10℃,加热能力38kW;四通道型号CH1、CH2冷却能力12kW@10℃,CH3、CH4冷却能力5kW@30℃。

介质适配方面,冠亚研发的面板CHILLER系列支持DI WATER、乙二醇水溶液、氟化液HT-170等多种介质,可根据面板工艺的具体需求选择适配介质。其中,氟化液损耗量低,设备采用闭式循环系统,可减少氟化液高温挥发,适配对介质稳定性要求高的面板工艺。设备采用全变频技术,结合压缩机余热回收设计,可you效降低能耗,同时设备体积小巧,多通道整合设计能够you效节约车间安装空间,适配面板产线的布局需求。
安全与通讯配置上,该系列设备具备完善的安全保护功能,包含压缩机、循环泵、加热器等热过载保护,电源过电流、欠压、缺相保护,低流量、低液位保护等,可you效保障设备运行安全。通讯方面,支持MODBUS RTU/TCP协议或ETHERCAT、LONWORKS等通讯协议,可接入产线自动化系统,实现远程监控与参数调整,适配面板制程的自动化生产需求。

半导体产线升级改造,会遇到继续利旧原有 chiller,对接新增测试工位的场景。旧设备长期运行,硬件性能、控制逻辑、管路状态都存在老化,直接对接新产线工艺,容易出现冷量不匹配、控温漂移、通讯不兼容等一系列问题。
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无锡冠亚(LNEYA)面向化工车间提供低温防爆冷却系统设计与成套服务,涵盖防爆等级匹配、低温负荷核算、设备集成与调试支持,应用于医药化工、石化配套、精细化工中试车间等场景,帮助企业在安全合规的前提下实现稳定低温工艺。
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半导体 chiller 板式换热器内部结冰,大多出现在深冷测试工况。系统内部水分在低温位置凝结结冰,堵塞介质流道,造成流量下降,降温能力衰减。
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发酵罐运行通常经历灭菌升温、发酵恒温、发酵结束降温等多个温度阶段,每一阶段对温度的要求不同,且切换频繁。发酵罐制冷加热控温系统在一套设备中集成制冷与加热功能,通过程序控制自动完成各阶段温度曲线,避免人工频繁切换冷热源,降低温度波动对发酵过程的影响,是生物制药、食品发酵与化工微生物培养的关键配套系统。
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半导体芯片、功率器件量产测试产线,多台温控设备同时运行会持续产生大量余热。如果余热处理没有统一规划,风冷机型直接把热量排放在洁净车间内部,会抬高车间局部温度,加大洁净空调负荷;水冷机型需要匹配对应冷却塔散热能力。
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