多通道独立温控：面板 CHILLER 系列技术特点有哪些？

2026 年 4 月 22 日行业新闻面板 CHILLER 系列170

冠亚恒温小编为大家讲解冠亚恒温研发的面板CHILLER系列，该系列是冠亚专为面板制程设计的专用温控设备，包含单通道、双通道、三通道、四通道多种型号，适配薄膜沉积、刻蚀、OLED真空镀膜、Micro-LED热量转移、激光加工等面板工艺环节，核心优势在于多通道独立温控，以下详细解析该系列的核心技术特点。

多通道独立温控：面板 CHILLER 系列技术特点有哪些？ - 面板 CHILLER 系列（images 1）

多通道独立温控是该系列的核心技术特点，设备采用1-loop、2-loop、3-loop、4-loop独立通道设计，各通道之间互不干扰，可分别控制不同工艺环节的温度，适配面板制程中不同工位的差异化温控需求。以四通道型号为例，CH1、CH2通道温度范围为-20℃~+90℃，CH3、CH4通道温度范围为+30℃~+120℃，各通道可独立设定温度参数。

各通道均配备独立的循环系统与控制模块，控温精度可达±0.1℃，部分型号可达到±0.01℃，温度波动小，能够满足面板制程对温度一致性的严格要求。技术配置方面，该系列设备的温度范围整体覆盖-20℃~+120℃，冷却能力与加热能力随型号不同进行调整，适配不同工艺环节的冷热负荷需求。其中，单通道型号冷却能力21kW@25℃，加热能力2kW；双通道型号冷却能力35kW@5℃，加热能力4kW；三通道型号冷却能力30kW@10℃，加热能力38kW；四通道型号CH1、CH2冷却能力12kW@10℃，CH3、CH4冷却能力5kW@30℃。

多通道独立温控：面板 CHILLER 系列技术特点有哪些？ - 面板 CHILLER 系列（images 2）

介质适配方面，冠亚研发的面板CHILLER系列支持DI WATER、乙二醇水溶液、氟化液HT-170等多种介质，可根据面板工艺的具体需求选择适配介质。其中，氟化液损耗量低，设备采用闭式循环系统，可减少氟化液高温挥发，适配对介质稳定性要求高的面板工艺。设备采用全变频技术，结合压缩机余热回收设计，可you效降低能耗，同时设备体积小巧，多通道整合设计能够you效节约车间安装空间，适配面板产线的布局需求。

安全与通讯配置上，该系列设备具备完善的安全保护功能，包含压缩机、循环泵、加热器等热过载保护，电源过电流、欠压、缺相保护，低流量、低液位保护等，可you效保障设备运行安全。通讯方面，支持MODBUS RTU/TCP协议或ETHERCAT、LONWORKS等通讯协议，可接入产线自动化系统，实现远程监控与参数调整，适配面板制程的自动化生产需求。