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KSD 接触式设备车间安装空间规划指南

行业新闻 KSD 接触式设备140

KSD 系列接触式芯片测试机分为 705 小型款、710 大载台款,不同机型外形、通风预留、管路布线要求存在区分。车间安装需要结合设备长宽高、通风散热、操作通道、CDA 气管、供电线路统一规划,本文给出标准化空间规划流程。

KSD 接触式设备车间安装空间规划指南 - KSD 接触式设备(images 1)

一、确认安装场地类型

场地类型 规划重点
半导体洁净实验室 靠墙摆放,顶部预留排风空间
芯片量产产线工位 产线侧边嵌入式布局
狭小研发操作台 小型 705 机型落地布置
多设备集中测试区 并列通风间距预留

二、确认应用工艺流程

实验室单机独立使用,优先预留正面操作、背部通风空间;量产产线嵌入式安装,缩短样品取放动线;多台设备并排时,设备之间预留散热间距,避免热气互相干扰;洁净车间需规划风管外接路径,降低室内温升。

三、核对核心安装参数

  1. 各机型整机长宽高外形尺寸;
  2. 背部、顶部通风预留距离;
  3. CDA 干燥气管接口高度与管路走向;
  4. 触摸屏正面操作预留宽度;
  5. 地面承重基础要求。

四、匹配对应机型布局方案

机型布局方式
KSD-705-A/B台面 / 地面单侧靠墙摆放
KSD-710独立落地,前后预留检修通道

五、空间规划注意事项

  1. 设备散热面不可堆放工装、纸箱遮挡;
  2. CDA 管路尽量缩短,降低气体压力损耗;
  3. 嵌入式产线布局预留正面开门检修区域;
  4. 多台并列设备间距保持 30cm 以上通风距离。
KSD 接触式设备车间安装空间规划指南 - KSD 接触式设备(images 2)

六、常见问题 FAQ

  1. 设备可以完全紧贴墙面安装吗? 背部散热区域需要预留通风空间,不可贴死墙体。
  2. 洁净室需要外接排风管道吗? 长时间高温工况建议外接风管导出热量。
  3. 705 机型可以放置实验台面上吗? 确认台面承重达标后可台面摆放。
  4. 安装位置离测试工装过远有影响吗? 加长管路会产生温度损耗,尽量缩短管路长度。


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