KSDR接触式测试仪风管管路布置说明

KSDR 系列采用 R744 冷媒，整机产热与常规 KSD 机型一致，风管、CDA 干燥气管、冷媒管路布置需适配车间规范。本文分别讲解散热排风管道、样品吹扫气管、冷媒回路管路的布置标准与施工要点。

一、确认使用车间环境

车间类型	管路布置侧重点
绿色洁净厂房	风管无粉尘析出、管路密封
出口车企实验室	管路布局便于冷媒回收操作
小型研发洁净室	短管路、简化布线
多台 KSDR 集中区域	总管分流统一排风

二、确认应用工艺流程

KSDR 设备运行产生的热量可通过顶部风管集中排出；CDA 干燥气管用于晶圆、芯片低温吹扫；冷媒管路为密闭专用回路，检修管路需预留操作口。绿色车间管路优先选用无析出耐腐蚀材质，减少粉尘污染。

三、核对核心管路参数

1. 排风风管标准接口尺寸；
2. CDA 干燥气管额定供气压力；
3. R744 冷媒管路耐压等级；
4. 管路弯折允许数量；
5. 集中排风总管分流要求。

四、匹配管路布置方案

管路种类	布置规范
设备散热风管	顶部直连，减少弯折
样品吹扫 CDA 管路	就近接入载台供气口
冷媒密闭回路	预留检修阀，禁止随意加长

五、管路布置注意事项

1. 排风管道避免过多弯折，防止排风不畅热量堆积；
2. 冷媒管路不允许私自加长、改装，影响系统压力；
3. 洁净车间管路选用光滑无析出材质；
4. 多台设备集中排风设计总管分流结构。

六、常见问题 FAQ

1. Q：KSDR 机型风管可以和 KSD 通用吗？
   A：排风接口尺寸统一，风管可通用。
2. Q：R744 冷媒管路可以现场改造加长吗？
   A：原厂密闭回路，现场改造会破坏系统压力平衡。
3. Q：干燥气管路过长会影响吹扫效果吗？
   A：管路越长压力损耗越大，尽量缩短管路距离。
4. Q：绿色车间管路需要定期清洁吗？
   A：按车间洁净周期同步清理风管内壁粉尘。