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IGBT、MOS 功率器件、裸晶圆低温可靠性测试,对设备送风、循环介质露点管控标准严苛,微量水汽接触低温芯片会造成漏电、晶圆表面氧化、光刻工艺不良。很多采购选型混淆普通工业复叠冷水机与半导体专用水冷机,两类设备干燥系统配置差距较大,进场后露点数值偏高,批...
查看全文高校实验室、间歇化工中试产线经常出现 - 80℃复叠冷冻机长时间低温空载待机工况,很多操作人员完成样品降温后直接维持设备零下 80℃低温待机,忽视空载状态带来各类隐性设备损耗。
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