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# 40℃100℃高低温循环机工厂制冷回路设计的能效优势高低温循环机在-40℃至100℃宽温域工况下运行,其制冷回路设计直接决定设备水平与控温稳定性。所谓能效优势,核心来自制冷回路的整体匹配度:压缩机与节流机构的合理选配、...
查看全文半导体 chiller 出口温度直接决定后端芯片、探针测试设备的温控品质,出口温度频繁上下波动,会造成被测器件温度漂移,测试数据离散,良率受到影响。
查看全文真空卡盘陶瓷盘面布满细密微孔,用于吸附固定晶圆。测试过程产生的微颗粒、水汽析出杂质很容易进入微孔,造成气孔堵塞,直接表现为吸附力下降、晶圆局部吸附失效、晶圆滑移。
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