光刻直冷机Litho Chiller在光刻工艺中的热稳定性解决方案与关键部件维护

2025 年 7 月 17 日新闻中心行业新闻光刻直冷机液体冷热循环250

　　在光刻行业中，光刻直冷机Litho chiller通过稳定的温度控制为光刻过程提供可靠保障。其通过循环液的准确温控，为光刻机光学系统、工件台及环境舱等核心部件提供持续稳定的冷热环境，确保设备在严苛工艺条件下稳定运行。

　　光刻行业对光刻直冷机的核心要求体现在宽温域控制、高精度调节及系统稳定性三个方面。设备需实现较宽的温度范围覆盖，以满足不同工艺阶段的温控需求。控温精度需达到较高标准，确保循环液温度波动控制在很小范围内，避免因温度变化导致光学元件热变形或工件台定位误差。同时，系统需具备全密闭循环设计，采用磁力驱动泵避免泄漏风险，通过氦检测和长时间连续运行拷机等措施，保障设备在长期运行中的可靠性。

　　在光刻机光学系统冷却中，光刻直冷机通过流体控温技术对镜头组、激光发生器等发热部件进行准确温控。光学元件的温度稳定性直接影响其折射率和成像质量，光刻直冷机通过微通道换热器和板式换热器的组合应用，实现换热，确保光学系统在恒定温度环境下工作。针对激光模块的高功率散热需求，光刻直冷机Litho chiller可提供大流量循环液，及时带走激光产生的热量，维持模块工作温度稳定。

　　工件台作为光刻设备的核心运动部件之一，其温控精度要求更为严苛。光刻直冷机Litho chiller通过快速温变控制技术，实现工件台温度的实时调节，补偿运动过程中产生的热量积累。系统采用前馈PID及无模型自建树算法，结合电子膨胀阀的准确调节，确保工件台温度均匀性控制在严格范围内，为高精度定位提供基础保障。

　　环境舱温控是光刻过程的另一重要应用场景，光刻直冷机Litho chiller通过循环风控温装置，维持环境舱内温度的长期稳定。设备采用模块化设计，可根据环境舱体积及温控需求灵活配置，通过单独的制冷循环风机组实现连续长时间工作，即使在频繁开关门的工况下，也能通过自动除霜技术避免蒸发系统结霜对舱内温度的影响。

　　温度控制异常是光刻行业水冷机常见的问题，主要表现为实际温度偏离设定值或波动超出允许范围。此类问题可从制冷回路、加热系统和传感器三个方面排查。制冷回路方面，若温度无法降至设定值，可能是制冷剂泄漏或冷凝器换热效率下降所致。通过压力检测可初步判断制冷剂状态，若低压侧压力异常，需对管路接口、阀门等部位进行检漏，维修后补充制冷剂并重新测试。

　　加热系统故障多表现为低温环境下升温缓慢，这与压缩机热气加热回路相关。检查热气旁通阀工作状态，若阀门开度不足或卡滞，需进行维修或更换。传感器故障会导致温度反馈失真，需定期校准温度传感器，确保其测量误差在规定范围内，同时检查传感器线路连接，排除接触不佳问题。

日常维护有助于保障光刻直冷机Litho chiller稳定运行，通过趋势分析提前发现潜在问题，保障光刻过程的连续性和稳定性。