光刻直冷机Litho Chiller在光刻工艺中的热稳定性解决方案与关键部件维护

2025 年 7 月 17 日 24

在光刻行业中，光刻直冷机Litho chiller通过稳定的温度控制为光刻过程提供可靠保障。其通过循环液的准确温控，为光刻机光学系统、工件台及环境舱等核心部件提供持续稳定的冷热环境，确保设备在严苛工艺条件下稳定运行。

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