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FLTZ 设备广泛应用于量产产线,多数场景需要 24 小时不间断运行。针对连续运行设备,需建立标准化巡检与定期保养体系,提前排查隐患、降低停机概率。本文划分巡检周期、明确保养项目与执行规范。

不同负载与工况,巡检侧重点有所区别。
| 控温对象 | 重点参考方向 |
| 高负载冷板 | 制冷系统、泵体温度与噪音巡检 |
| 晶圆测试卡盘 | 温度参数、介质压力实时监控 |
| 多工位模组 | 各支路流量、分液均匀性检查 |
| 高低温循环工装 | 冷热切换部件、阀门状态检查 |
量产产线无停机窗口,巡检以不停机目视、数据查看为主;季度、年度保养可结合产线计划性停机开展。高负载、宽温区连续运行设备,部件损耗相对更快,保养周期适当缩短;常规恒温工况可沿用标准周期。
日常巡检需记录监控参数:
按运行工况划分保养机型
| 机型分类 | 巡检保养侧重 |
| 标准恒温机型 | 常规参数、液位、基础部件巡检 |
| 宽温区循环机型 | 冷热切换组件、阀门重点保养 |
| 高负载机型 | 压缩机、循环泵重点检测 |
| 变频系列机型 | 变频模块、运行频率监测 |

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