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FLTZ 多介质机型可兼容 DI 水、乙二醇溶液、氟化液等多种循环介质,介质管理包含选型、加注、检测、更换、管路清洗等全流程。规范的介质管理,可保障设备运行稳定、延长部件使用寿命,本文梳理全流程管理规范。

不同温控载体,决定介质选用与管理标准。
| 控温对象 | 重点参考方向 |
| 半导体制程设备 | 介质电导率、洁净度管控 |
| 高低温测试工装 | 介质冰点、粘度定期检测 |
| 通用冷却机组 | 介质浓度、常规损耗检查 |
| 精密仪器 | 低析出介质、化学稳定性监测 |
根据运行温区、洁净等级、运行时长制定管理周期。常温纯水系统检测周期可适当延长;高低温混合介质、高价值氟化液需缩短检测周期。24 小时连续运行设备,介质老化速度更快,需加大抽检频次;间歇使用设备可按季度开展全面检测。
介质管理需重点核查参数:
按介质兼容能力划分管理机型
| 机型分类 | 适用介质与管理要点 |
| 水溶液机型 | DI 水、普通纯水,重点管控洁净度与电导率 |
| 低温混合液机型 | 乙二醇溶液,定期检测浓度与冰点 |
| 氟化液专用机型 | 各类氟化液,注重回收与过滤 |
| 全介质通用机型 | 多介质切换,更换前彻底清洗管路 |

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