双通道冷水机Dual Channel Chiller在半导体制造中的应用分析

2025 年 6 月 13 日新闻中心行业新闻 540

　　半导体制造过程对温度控制要求较高，双通道冷水机Dual Channel Chiller作为关键的温控设备之一，在半导体行业中应用广泛。

　　一、半导体制造的温控需求与挑战

　　半导体制造涵盖晶圆制造、封装测试等多个环节，每个环节对温度的要求都较为苛刻。在光刻工艺中，温度的细微波动都会影响光刻胶的性能和图案转移的精度，进而影响芯片的良率和性能。而在离子注入过程中，需要准确控制晶圆的温度以确保离子注入的浓度符合要求。此外，半导体设备在运行过程中会产生大量的热量，如不及时散发，会导致设备性能下降甚至损坏。

　　半导体制造的温控挑战主要体现在温度范围广、控温精度高、动态响应快等方面。许多工艺需要在较宽温范围内进行，且控温精度要求高。同时，生产过程中可能需要快速升降温，以满足不同工艺步骤的需求。

　　二、双通道冷水机的技术特点

　　双通道冷水机具有双循环系统设计，能够单独控制两个通道的温度，满足半导体制造中多工位、多工艺的温控需求。

　　1、高精度控温能力

　　采用成熟的PID控制算法、前馈PID控制算法以及无模型自建树算法等多种控制算法，实现了系统的快速响应和高精度控温。

　　2、宽温范围覆盖

　　通过单机复叠制冷技术等制冷技术的应用，双通道冷水机能够实现宽温度范围覆盖。在半导体制造中，可根据不同工艺需求提供相应的温度控制，在低温测试环节提供低温环境，在高温老化测试中提供高温环境。

　　3、换热与全密闭系统

　　采用板式换热器、微通道换热器等换热元件，提高了换热效率。同时，全密闭系统设计避免了导热介质与外界空气接触，防止水汽凝结和介质氧化，延长了导热介质的使用寿命，也保证了系统的稳定性和可靠性。

　　4、智能监控与通信功能

　　配备PLC可编程控制器和7英寸彩色触摸屏，可实时显示温度曲线、导出数据等。同时支持多种通信协议，实现了与其他设备的远程监控和数据交互，便于工厂自动化管理。

　　三、双通道冷水机在半导体制造中的具体应用场景