涂胶显影设备温控：FLTZ+5~+40℃制冷循环器介绍

2026 年 5 月 7 日行业新闻 FLTZ+5~+40℃制冷循环器250

冠亚恒温小编为大家介绍 FLTZ+5~+40℃制冷循环器在涂胶显影设备中的温控应用。涂胶显影是半导体光刻工艺的重要环节，涂胶过程中光刻胶的粘度、涂布均匀性与温度相关，显影过程中显影液的反应速率也受温度影响，温度偏差会直接影响涂胶、显影效果，FLTZ+5~+40℃系列设备可提供稳定的温控支持，适配涂胶显影设备的常规温控需求。

涂胶显影设备温控：FLTZ+5~+40℃制冷循环器介绍 - FLTZ+5~+40℃制冷循环器（images 1）

FLTZ+5~+40℃系列设备的温度范围为 + 5℃~+40℃（可扩展到 90℃），控制模式支持循环液出口温度控制与工件负载温度控制（选配），出口控温精度稳定在 ±0.1℃，可定制 ±0.01℃控温精度，能够将涂胶显影设备的温度波动控制在合理范围，保障工艺一致性。制冷量 @20℃覆盖 2.5kW 至 38kW，加热能力从 0.5kW 至 7.5kW，可根据涂胶显影设备的热负荷需求选择适配型号，避免制冷量不足或过剩的问题。

介质适配方面，设备支持氟化液、乙二醇水溶液或 DI 水等介质，可根据涂胶显影工艺的介质需求选择适配类型，去离子水可降低介质电导率，减少对设备内部部件的影响。介质流量压力覆盖 15LPM@3bar 至 30LPM@5bar，介质接口涵盖 Rc1/2、Rc3/4 等规格，冷却水接口包括 Rc1/2、Rc1/1 等，冷却水流量从 0.6m³/h 到 8m³/h 不等，可匹配涂胶显影设备的管路布局与流量需求。

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设备的控制与操作适配工业场景需求，采用 7 寸彩色触摸屏，可直观设置温度参数、查看运行状态，支持数据记录与导出，便于工艺追溯。安全防护方面，具备压缩机、循环泵、加热器等热过载保护，电源过电流、欠压、缺相保护，低流量、低液位保护等功能，可有xiao规避运行过程中的设备故障，保障涂胶显影设备的连续运行。

FLTZ+5~+40℃制冷循环器以常规温度范围的稳定控温能力，适配涂胶显影设备的温控需求，为涂胶、显影工艺提供稳定的温度环境，减少温度偏差对工艺效果的影响。