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FLTZ 宽温域 -100℃制冷循环器选型手册

行业新闻 半导体chiller130

FLTZ -100℃宽温域制冷循环器采用复叠式制冷结构,低稳定 – 100℃恒温,上限覆盖 + 90℃,可实现超低温恒温、高低温往复循环,适配特种材料、芯片深冷测试、真空低温工艺。本文梳理温区、负载、介质选型规范。

FLTZ 宽温域 -100℃制冷循环器选型手册 - 半导体chiller(images 1)

一、确认控温对象

控温对象重点参考方向
特种高分子深冷试样-100℃长期恒温保温
芯片低温失效分析工装跨高低温循环速率
真空镀膜低温腔体低温介质防凝固、低挥发
航空元器件低温验证台宽温域连续稳定输出
实验室低温反应装置小型低负载、自定义曲线

二、确认应用工艺流程

-100℃设备分为定点超低温恒温、高低温往复循环两类工艺。定点保温要求复叠系统长时间稳定压力;循环工况需要设备快速完成冷热模式切换。介质选用专用低温防冻导热液,防止管路低温凝固,设备双层保温隔绝外界水汽结露。

三、核对核心技术参数

1 工作温区:-100℃ ~ +90℃; 2 两级复叠制冷回路,高低温独立冷媒; 3 专用低温介质适配,低凝固点配方; 4 防结露双层管路保温结构; 5 可编程多段高低温循环曲线。

四、匹配对应机型

-100℃机型细分适配负载场景
小负载复叠款实验室小型低温试样
标准负载复叠款芯片深冷、真空腔体常规工位
大负载复叠款量产连续深冷验证产线

五、选型注意事项

1 工艺低温度接近 – 100℃,需要选用复叠宽温域机型,常规 – 25℃机型无法达标; 2 低温介质不可替换普通乙二醇,避免管路凝固堵塞; 3 设备周边环境温度不宜过高,保证复叠机组散热; 4 长期 – 100℃保温工况核对机组连续运行拷机标准。

FLTZ 宽温域 -100℃制冷循环器选型手册 - 半导体chiller(images 2)

六、常见问题 FAQ

1 -100℃机型能否直接快速升温至 90℃? 支持全程连续升降温,可自定义分段速率。 2 复叠机组日常维护比常温设备复杂吗? 按季度做冷媒压力巡检即可,标准化运维流程。 3 普通 DI 水可以用于 – 100℃设备吗? DI 水冰点过高,低温下会冻结,只能用专用低温导热液。 4 设备运行时外壁出现凝露属于故障吗? 双层保温正常工况无大量凝露,凝露增多需检查保温层。


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