半导体 chiller 制冷回路混入不凝性气体该如何处置？

半导体 chiller 制冷回路在检修拆装、管路破损渗漏之后，空气类不凝性气体会进入系统。气体会占据冷凝器换热空间，带来冷凝压力偏高、制冷性能下降等一系列现象。该类处置需要由熟悉制冷系统的专业人员操作，不可以盲目直接排放冷媒。本文梳理处置流程以及前期确认要点。

一、不凝性气体处置前期确认对照表

确认项目	核查内容	说明
故障现象复核	对比历史基线，确认高压压力异常抬升	区分散热差、冷媒充注过量等其它诱因
漏点排查确认	查找气体进入系统的源头	不修复漏点，处置后气体会再次进入
设备停机准备	按规范流程停机降温	避免高温工况开展回路操作

二、分步处置流程

1、确认故障真实诱因

调取设备历史运行记录，在环境温度、负载接近历史基线的条件下，观察制冷高压压力。 先排除冷凝器散热不良、冷却水结垢、冷媒充注过量等同样会抬升高压的故障，确认故障指向系统存在不凝性气体，再开展后续作业。

2、查找气体进入系统源头

不凝性气体进入系统，大多来自管路维修拆装没有规范抽真空，或者管路发生渗漏，大气渗入制冷回路。 开展整套制冷管路检漏，找到渗漏点位，完成修复。如果漏点没有处理，即便排出气体，后续运行空气会再次进入回路。

3、系统停机降温处置

将设备停机，等待制冷回路温度下降，让冷媒充分冷凝液化。不建议在设备高负荷高温运行状态下直接开展排气作业。

4、专业人员开展气体分离排放

交由制冷专业人员，按照设备对应的操作规范，对回路内部不凝性气体做分离排放。操作过程做好冷媒回收，不能随意把冷媒直接排放在环境中。 气体排放作业完成之后，复核回路压力，必要时重新抽真空，按需补充对应规格冷媒。

5、多工况验证

处置完成，分别做空载、模拟满载运行，记录高低压压力，对比本机历史基线。确认高压压力回归合理区间，阀体动作、降温性能恢复正常，再接入芯片测试工装。

三、日常预防提示

制冷回路拆开检修作业之后，严格执行抽真空工序，减少空气进入回路概率。定期做冷媒管路检漏，及时处理渗漏点位。

总结

半导体 chiller 制冷回路混入不凝性气体，首先排除其它同类故障，找到气体进入的漏点并修复，由专业人员完成气体分离排放，处置完成做多工况验证。维修作业规范抽真空，从源头减少该类故障发生。

FAQ

Q：高压压力偏高，就直接排放气体可以吗？

A：高压偏高存在多种诱因，要先排除散热差、冷媒加注过多等其它情况，不可直接排气。

Q：不修复漏点，只把气体排掉，故障会复发吗？

A：漏点存在，大气会持续渗入，过段时间故障现象会再次出现。

Q：普通现场运维人员可以自行操作排放不凝气体吗？

A：涉及冷媒回路，建议交由制冷专业技术人员完成。