【客户案例】某企业半导体制造中半导体控温chiller应用案例

2025 年 1 月 16 日公司新闻半导体控温chiller5110

　　半导体控温chiller适用于工艺制程中准确控制反应腔室温度，是一种用于半导体制造过程中对设备或工艺进行冷却的装置，冠亚恒温可为其提供了定制化的半导体Chiller解决方案。该方案采用了制冷技术和智能控制系统，能够根据实际生产需求自动调节制冷量，确保生产环境始终保持在适合温度范围内。

冠亚恒温半导体控温chiller

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water Chiller product & project 核心技术与优势：1、洁净度高：内置过滤器能有效防止水垢生成，从源头降低游离离子污染，保护冷却系统核心部件，显著提升运行效率；同时降低冷却水电导率，防止电流泄漏，避免对精密电子元件或加工过程造成电化学干…
超纯水温控chiller
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water Chiller product & project 核心技术与优势：1、洁净度高：内置过滤器能有效防止水垢生成，从源头降低游离离子污染，保护冷却系统核心部件，显著提升运行效率；同时降低冷却水电导率，防止电流泄漏，避免对精密电子元件或加工过程造成电化学干…
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product & project 节约能耗：变频压缩机组通过内置变频装置随时根据用户冷热负荷需求改变直流压缩机的运行转速，从而避免压缩机与电加热满负荷对抗，保持机组稳定的工作状态。快速制冷：变频机组采用先进的变频技术，精确控制压缩和风机运行转速，通过电…
FLTRZ二氧化碳chiller
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product & project 节约能耗：变频压缩机组通过内置变频装置随时根据用户冷热负荷需求改变直流压缩机的运行转速，从而避免压缩机与电加热满负荷对抗，保持机组稳定的工作状态。快速制冷：变频机组采用先进的变频技术，精确控制压缩和风机运行转速，通过电…
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全氟聚醚油常温下为无色透明的油状液体，耐高温、耐化学腐蚀、抗氧化、抗辐射，主要用作润滑油、真空泵油，由于具有高的稳定性、安全性，特别是在尤为苛刻条件下工作时所表现的高度可靠性
全氟聚醚油CLKDOC138
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全氟聚醚油常温下为无色透明的油状液体，耐高温、耐化学腐蚀、抗氧化、抗辐射，主要用作润滑油、真空泵油，由于具有高的稳定性、安全性，特别是在尤为苛刻条件下工作时所表现的高度可靠性
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氢氟醚是由氢、氟、氧和碳原子构成的化合物，具有醚结构，臭氧消耗潜能值ODP为零，全球暖化潜势系数GWP低，且大气停留时间很短，被认为是CFCs 理想替代品。
氢氟醚CLKDOC78
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氢氟醚是由氢、氟、氧和碳原子构成的化合物，具有醚结构，臭氧消耗潜能值ODP为零，全球暖化潜势系数GWP低，且大气停留时间很短，被认为是CFCs 理想替代品。
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product & project 应用：CHILLER高温系列主要应用与薄膜沉积领域，适用于CVD、PECVD、MOCVD等需要带走高温热量的工艺制程中，满足半导体高温测试需求。核心技术与优势：1、高温范围宽：出口温度最高可达300℃。2、控温精准：采用智能算法，实现系统动态…
高温系列Chiller
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product & project 应用：CHILLER高温系列主要应用与薄膜沉积领域，适用于CVD、PECVD、MOCVD等需要带走高温热量的工艺制程中，满足半导体高温测试需求。核心技术与优势：1、高温范围宽：出口温度最高可达300℃。2、控温精准：采用智能算法，实现系统动态…
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product & project 负压型控温系统通过负压环境下的流体循环实现精准温度控制，原理：通过负压发⽣器驱动导热介质（⽔/油）循环，避免泄漏⻛险，适⽤于各种类型板卡冷却。核⼼技术与优势防泄漏设计：系统运⾏时管路处于负压状态，即使管道破裂…
负压型控温机组
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product & project 冠亚恒温LNEYA 帕尔贴热电制冷器CHILLER温度范围从-20到90℃，专为半导体行业度身定制；基于经过实践验证的帕尔贴热传导原理，帕尔贴温度控制系统能够为等离子刻蚀应用提供可重复性的温度控制；对于静电卡盘(ESC)动态的温度控…
帕尔贴Chiller
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product & project 面板系列Chiller应⽤于刻蚀、蒸镀、镀膜⼯艺等，支持⼤流量⾼负载，确保恶劣工况下持续稳定运行；支持冷却⽔动态调节系统，可根据环境温度与设备热负荷，实时调节⽔温。采用变频智能控制，减少无效能耗；全自动补液与⽔质管理，缺…
面板系列Chiller
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product & project 面板系列Chiller应⽤于刻蚀、蒸镀、镀膜⼯艺等，支持⼤流量⾼负载，确保恶劣工况下持续稳定运行；支持冷却⽔动态调节系统，可根据环境温度与设备热负荷，实时调节⽔温。采用变频智能控制，减少无效能耗；全自动补液与⽔质管理，缺…
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product & project 原理：CHILLER 高精度系列设备集成蒸汽压缩制冷系统与循环介质系统，进行制冷加热，可实现高精度控温，适用于光刻机、涂胶显影设备等领域制冷加热控温。核心技术与优势：1.高精度控温：采用PID算法或PLC控制，实现温度波动≤±0.005℃…
常温高精度Chiller
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product & project 原理：CHILLER 高精度系列设备集成蒸汽压缩制冷系统与循环介质系统，进行制冷加热，可实现高精度控温，适用于光刻机、涂胶显影设备等领域制冷加热控温。核心技术与优势：1.高精度控温：采用PID算法或PLC控制，实现温度波动≤±0.005℃…
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product & project 多通道独⽴控温，可以具备单独的温度范围、冷却加热能⼒、导热介质流量等，采⽤独⽴的两套系统，根据所需的温度范围选择采⽤蒸汽压缩制冷，或者采⽤ETCU⽆压缩机换热系统，系统可通⽤膨胀罐、冷凝器、冷却⽔系统等，可…
ETCU换热控温单元
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product & project 多通道独⽴控温，可以具备单独的温度范围、冷却加热能⼒、导热介质流量等，采⽤独⽴的两套系统，根据所需的温度范围选择采⽤蒸汽压缩制冷，或者采⽤ETCU⽆压缩机换热系统，系统可通⽤膨胀罐、冷凝器、冷却⽔系统等，可…
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　　目前冠亚恒温半导体控温chiller按照不同产品类型，包括单通道和双通道，主要有FLTZ变频单通道系列（-100℃~+90℃）、FLTZ变频多通道系列（-45℃~+90℃）、无压缩机系列ETCU换热控温单元（+5℃-+90℃）
　　半导体行业投入大，制造工序繁多。冠亚恒温半导体控温chiller帮助客户在每个环节进行严格的质量把控，提供高稳定性的温度控制，保障产品的稳定性和可靠性。
　　冠亚恒温拥有超过14年的温度控制经验和与各行业配套的经验，为客户提供标准化和定制化的温度控制产品，结合专业技术知识，确保满足半导体工艺中的苛刻温度要求。

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