【客户案例】某企业半导体制造中半导体控温chiller应用案例

2025 年 1 月 16 日公司新闻半导体控温chiller1230

　　半导体控温chiller适用于工艺制程中准确控制反应腔室温度，是一种用于半导体制造过程中对设备或工艺进行冷却的装置，冠亚恒温可为其提供了定制化的半导体Chiller解决方案。该方案采用了制冷技术和智能控制系统，能够根据实际生产需求自动调节制冷量，确保生产环境始终保持在适合温度范围内。

冠亚恒温半导体控温chiller

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全氟聚醚油常温下为无色透明的油状液体，耐高温、耐化学腐蚀、抗氧化、抗辐射，主要用作润滑油、真空泵油，由于具有高的稳定性、安全性，特别是在尤为苛刻条件下工作时所表现的高度可靠性
全氟聚醚油CLKDOC138
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全氟聚醚油常温下为无色透明的油状液体，耐高温、耐化学腐蚀、抗氧化、抗辐射，主要用作润滑油、真空泵油，由于具有高的稳定性、安全性，特别是在尤为苛刻条件下工作时所表现的高度可靠性
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氢氟醚是由氢、氟、氧和碳原子构成的化合物，具有醚结构，臭氧消耗潜能值ODP为零，全球暖化潜势系数GWP低，且大气停留时间很短，被认为是CFCs 理想替代品。
氢氟醚CLKDOC78
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氢氟醚是由氢、氟、氧和碳原子构成的化合物，具有醚结构，臭氧消耗潜能值ODP为零，全球暖化潜势系数GWP低，且大气停留时间很短，被认为是CFCs 理想替代品。
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product & project FLTZ系列三通道Chillers主要应用与半导体生产过程中及测试环节的温度精准控制，系统支持三个通道独立控温，每个通道有独立的温度范围、冷却加热能力、导热介质流量等。公司在系统中应用多种算法（PID、前馈PID、无模型自建树算法…
双通道高温Chiller
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product & project FLTZ系列三通道Chillers主要应用与半导体生产过程中及测试环节的温度精准控制，系统支持三个通道独立控温，每个通道有独立的温度范围、冷却加热能力、导热介质流量等。公司在系统中应用多种算法（PID、前馈PID、无模型自建树算法…
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product & project 负压型控温系统通过负压环境下的流体循环实现精准温度控制，原理：通过负压发⽣器驱动导热介质（⽔/油）循环，避免泄漏⻛险，适⽤于各种类型板卡冷却。核⼼技术与优势防泄漏设计：系统运⾏时管路处于负压状态，即使管道破裂…
负压型控温机组
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product & project 负压型控温系统通过负压环境下的流体循环实现精准温度控制，原理：通过负压发⽣器驱动导热介质（⽔/油）循环，避免泄漏⻛险，适⽤于各种类型板卡冷却。核⼼技术与优势防泄漏设计：系统运⾏时管路处于负压状态，即使管道破裂…
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product & project 冠亚恒温LNEYA 帕尔贴热电制冷器CHILLER温度范围从-20到90℃，专为半导体行业度身定制；基于经过实践验证的帕尔贴热传导原理，帕尔贴温度控制系统能够为等离子刻蚀应用提供可重复性的温度控制；对于静电卡盘(ESC)动态的温度控…
帕尔贴Chiller
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product & project 面板系列Chiller应⽤于刻蚀、蒸镀、镀膜⼯艺等，支持⼤流量⾼负载，确保极端⼯况下持续稳定运⾏；支持冷却⽔动态调节系统，可根据环境温度与设备热负荷，实时调节⽔温。采用变频智能节能控制，减少⽆效能耗；全⾃动补液与⽔质管理…
面板系列Chiller
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product & project 面板系列Chiller应⽤于刻蚀、蒸镀、镀膜⼯艺等，支持⼤流量⾼负载，确保极端⼯况下持续稳定运⾏；支持冷却⽔动态调节系统，可根据环境温度与设备热负荷，实时调节⽔温。采用变频智能节能控制，减少⽆效能耗；全⾃动补液与⽔质管理…
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product & project FLTZ系列三通道Chillers主要应用与半导体生产过程中及测试环节的温度精准控制，系统支持三个通道独立控温，每个通道有独立的温度范围、冷却加热能力、导热介质流量等。公司在系统中应用多种算法（PID、前馈PID、无模型自建树算…
三通道系列Chiller
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product & project FLTZ系列三通道Chillers主要应用与半导体生产过程中及测试环节的温度精准控制，系统支持三个通道独立控温，每个通道有独立的温度范围、冷却加热能力、导热介质流量等。公司在系统中应用多种算法（PID、前馈PID、无模型自建树算…
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product & project 多通道独⽴控温，可以具备单独的温度范围、冷却加热能⼒、导热介质流量等，采⽤独⽴的两套系统，根据所需的温度范围选择采⽤蒸汽压缩制冷，或者采⽤ETCU⽆压缩机换热系统，系统可通⽤膨胀罐、冷凝器、冷却⽔系统等，可…
ETCU换热控温单元
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product & project 多通道独⽴控温，可以具备单独的温度范围、冷却加热能⼒、导热介质流量等，采⽤独⽴的两套系统，根据所需的温度范围选择采⽤蒸汽压缩制冷，或者采⽤ETCU⽆压缩机换热系统，系统可通⽤膨胀罐、冷凝器、冷却⽔系统等，可…
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product & project 多通道独⽴控温，可以具备单独的温度范围、冷却加热能⼒、导热介质流量等，采⽤独⽴的两套系统，根据所需的温度范围选择采⽤蒸汽压缩制冷，或者采⽤ETCU⽆压缩机换热系统，系统可通⽤膨胀罐、冷凝器、冷却⽔系统等，可…
双通道系列Chiller
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product & project 多通道独⽴控温，可以具备单独的温度范围、冷却加热能⼒、导热介质流量等，采⽤独⽴的两套系统，根据所需的温度范围选择采⽤蒸汽压缩制冷，或者采⽤ETCU⽆压缩机换热系统，系统可通⽤膨胀罐、冷凝器、冷却⽔系统等，可…
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product & project 40℃以内加热⽅式采⽤压缩机热⽓加热。Chiller循环系统采⽤全密闭设计、采⽤磁⼒驱动泵。Chiller100%氦检测，100%安规检测，确保an全可靠。chiller100%经过24⼩时连续运⾏拷机。 25000㎡生产车间超3亿年产值 16…
单通道系列Chiller
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product & project 40℃以内加热⽅式采⽤压缩机热⽓加热。Chiller循环系统采⽤全密闭设计、采⽤磁⼒驱动泵。Chiller100%氦检测，100%安规检测，确保an全可靠。chiller100%经过24⼩时连续运⾏拷机。 25000㎡生产车间超3亿年产值 16…
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　　目前冠亚恒温半导体控温chiller按照不同产品类型，包括单通道和双通道，主要有FLTZ变频单通道系列（-100℃~+90℃）、FLTZ变频多通道系列（-45℃~+90℃）、无压缩机系列ETCU换热控温单元（+5℃-+90℃）
　　半导体行业投入大，制造工序繁多。冠亚恒温半导体控温chiller帮助客户在每个环节进行严格的质量把控，提供高稳定性的温度控制，保障产品的稳定性和可靠性。
　　冠亚恒温拥有超过14年的温度控制经验和与各行业配套的经验，为客户提供标准化和定制化的温度控制产品，结合专业技术知识，确保满足半导体工艺中的苛刻温度要求。