卡盘用FLTZ半导体Chiller如何选型？8寸与12寸卡盘控温说明

2026 年 6 月 5 日 39

卡盘用FLTZ半导体Chiller常用于晶圆针测、刻蚀、温度循环测试和相关半导体工艺。选型时建议先确认卡盘尺寸、温度范围和控温精度。常见卡盘尺寸包括8寸和12寸，不同尺寸对应不同换热面积、热负载和介质循环需求。

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