恒温Chiller冷水机的优势与核心特点：为工业制造护航

2026 年 1 月 9 日 96

　　恒温Chiller冷水机在半导体、精密制造等对温控稳定性要求高的场景中，专注于高精度温控设备研发与制造的企业，其半导体Chiller产品在晶圆制造、封装测试、光模块可靠性验证等场景中广泛应用。结合公开资料与行业实践，其优势和特点可系统归纳如下： 　　一...

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涂胶显影直冷机热控系统多尺度研究：工艺级温度场优化与设备级稳定性控制

2025 年 7 月 10 日 144

在半导体涂胶显影工艺中，温度是影响产品质量与工艺稳定性的核心参数之一。涂胶显影过程涉及光刻胶的涂布、曝光、显影等步骤，每一步骤对温度变化的要求较高，涂胶显影直冷机通过准确调控温度，为工艺提供稳定的热环境。

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