半导体薄膜沉积直冷机多场景自适应温控技术与规模化生产解决方案

2025 年 7 月 17 日 31

在半导体制造领域，温控设备的适应性与扩展性直接影响生产效率与工艺稳定性。薄膜沉积直冷机作为关键温控设备之一，其模块化设计通过功能单元的标准化、单独化配置，实现了对不同生产场景的灵活适配。

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