半导体薄膜沉积水冷机制冷循环稳定性、流体传输特性与控制策略优化

2025 年 7 月 10 日 34

在半导体薄膜沉积工艺中，薄膜沉积水冷机CVD chiller通过循环液的热量交换维持反应腔室、靶材及相关部件的温度稳定，其核心由制冷循环、循环液回路、控制系统及辅助组件构成。

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