制冷加热系统在半导体应用中的原理是什么？Chiller厂家为你讲解

2025 年 9 月 11 日 11

在半导体制造过程中，光刻、蚀刻、薄膜沉积等核心工艺对温度变化要求较高，微小的温度波动可能影响芯片的精度与性能。制冷加热系统作为半导体设备温控的核心组件之一，通过集成化的设计与准确的温度调节机制，为半导体设备提供稳定的温度环境

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