半导体涂胶显影直冷机操作与维护全解：从开机准备到故障处理的标准化流程

2025 年 6 月 18 日新闻中心行业新闻 40

涂胶显影直冷机是半导体制造过程中配套使用的控温设备，主要用于晶圆表面的涂胶和显影工艺，通过直接冷却技术实现对工艺温度的准确控制。涂胶显影直冷机采用制冷系统设计，能够满足半导体制造过程中对温度控制的严格要求。

　　一、开机前准备

　　设备开机前需进行以下检查：首先确认外观完好，各部件连接牢固无松动或损坏；其次检查电源连接正确且电压稳定；同时检查制冷介质液位是否符合规定范围；此外需确保冷却水系统运行正常，水温控制在合理范围且流量达标；最后保持设备周围通风良好，无杂物堆放以保证散热效果。

　　二、开机操作

　　1、接通设备总电源，打开控制面板上的电源开关，设备开始自检。

　　2、自检完成后，在控制面板上设置所需的温度参数，根据要求进行设置。

　　3、启动制冷系统，观察压缩机的运行状态，有无异常声音或振动。同时，注意观察制冷系统的压力和温度参数，确保其在正常范围内。

　　4、当设备温度达到设定值并稳定后，方可进行涂胶和显影工艺操作。

　　三、关机操作

　　设备关机需按照规范流程操作：首先在完成当前工艺后，依次关闭涂胶/显影等工艺单元，待其完全停止运行后再切断制冷系统电源；随后通过控制面板以阶梯式调节方式逐步升高温度设定值，使设备缓慢回温至室温区间，此过程需保持以确保系统平稳过渡；待温度稳定后，先关闭设备主控电源开关，再至配电柜切断总电源，确保设备处于合适待机状态。

　　四、安全操作注意事项

　　为确保设备安全运行，需严格遵守操作规范，设备运行期间，严禁触碰高温部件及低温部件，以防造成伤害；若发现设备运行异常，须立即按下急停按钮并切断总电源，同时做好警示标识，及时联系维修处理。在进行任何维护保养前，先切断电源并上锁，确认设备完全停止且储能元件放电完成后方可作业。

　　三、常见故障处理

　　1、温度控制异常

　　当设备出现温度无法达到设定值或温度波动过大时，需系统排查故障原因。先应检查制冷介质是否充足，若发现液位过低或存在泄漏，应立即停机检修漏点并补充适量制冷剂。其次需对压缩机运行状态进行检查。

　　2、压缩机故障处理

　　压缩机出现不启动或频繁停机现象时，应从电气和机械两方面进行诊断。电气方面需检查供电电压是否稳定，是否存在缺相或电压过低等问题。机械方面则需检测系统压力是否正常，排查冷凝器堵塞、干燥过滤器失效等导致压力异常的因素。

　　3、冷却水系统维护

　　冷却水系统故障主要表现为流量不足或水温过高。先应检查管道是否堵塞，定期清洗管道内沉积的水垢和杂质。水泵作为核心部件，需确保其供电正常、叶轮无损坏，必要时进行更换。

　　涂胶显影直冷机的正确操作和维护保养是确保半导体制造工艺顺利进行的关键。定期对设备进行维护保养，及时发现和处理设备故障，以保证设备的正常运行和工艺质量。