高精度温控系统源头工厂
高端非标定制温度控制解决方案提供商
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将制冷系统中的制冷剂直接输出蒸发进入目标控制元件(换热器)换热,从而使目标控制对象降温。具备换热能力相对于流体(气体)输送入换热器换热能力更高,这样特别适用于换热器换热面积小,但是换热量大的运用场所。也可以如气体捕集运用,将制冷剂直接通入捕集器蒸发,通过捕集器表面冷凝效应,迅速捕集空间中的气体。
| 型号 | ZLJ-41 | ZLJ-43 | ZLJ-46 |
| ZLJ-41W | ZLJ-43W | ZLJ-46W | |
| 温度范围 | -40℃~-15℃ | ||
| 控温精度 | ±1℃(出口温度稳态) | ||
| 制冷AT-35℃ | 0.5kw | 1.6kw | 3.2kw |
| 制冷剂 | R404A 可选配R507C R448 | ||
| 高温降温 | 具备高温150度直接降温技术,满足目标在高温运行时迅速进行降温能力 | ||
| 尺寸 | 320*400*600 | 800*700*600 | 450*700*1350 |
| 断路器 | 6A | 6A | 16A |
| 型号 | ZLJ-81 | ZLJ-83 | ZLJ-86 |
| ZLJ-81W | ZLJ-83W | ZLJ-86W | |
| 温度范围 | -80℃~-50℃ | ||
| 控温精度 | ±1℃(出口温度稳态) | ||
| 制冷AT-70℃ | 0.4kw | 1.3kw | 2.5kw |
| 制冷剂 | R404A/R508B | ||
| 高温降温 | 具备高温150度直接降温技术,满足目标在高温运行时迅速进行降温能力 | ||
| 尺寸 | 320*630*650 | 950*1000*800 | 550*1000*1750 |
| 断路器 | 10A | 16A | 25A |
| 型号 | SLJ-3W | SLJ-4W | SLJ-6W | SLJ-11W |
| 温度范围 | -150℃~-110℃ | |||
| 制冷AT-120℃ | 3KW | 4KW | 6KW | 11KW |
| 制冷AT-135℃ | 2.5KW | 3.3KW | 5KW | 9KW |
| 制冷剂 | LNEYA -150混合制冷剂 | |||
| 尺寸 | 750*750*1750 | 750*750*1750 | 950*1000*2050 | 1300*2000*3500 |
| 断路器 | 40A | 55A | 65A | 100A |

该产品可以实现快速温度变化,精准控制温度。系统本⾝⾃带制冷机,避免了液氮、⼆氧化碳等的消耗,每个系统均包含了卡盘和冷热控制单元。
系统提供开放的表⾯平整⼯作平台,快速升降温、恒温控制,运⽤于RF器件和⾼密度功率器件测试,也可以运⽤于实验室平板快速冷却(⾎浆、⽣物制品、电池)等
平板内部采⽤制冷剂直接蒸发⽅式,相对液冷⽅式⼤幅度提⾼了换热效率,提⾼单位⾯积平板的换热功率。
| 温度范围 | -70℃~200℃(可以定制各种温度范围) |
| 温度均匀性 | 土0.5℃ |
| 加热速率 | -55℃至+25℃:12 分钟 -40℃至+25℃:10 分钟 +25℃至+150℃:20 分钟 +25℃至+200℃:28 分钟 +25℃至+300℃:40 分钟 |
| 冷却速率 | +150℃至+25℃:25 分钟 +200℃至+25℃:30 分钟 +300℃至+25℃:40 分钟 +25℃至0℃:15 分钟 +25℃至-40℃:35 分钟 +25℃至-55℃:65 分钟 |
| 冷却方式 | 直冷系统/液冷系统/气冷系统 |
| 控温方式 | 内置多个温度传感器,多区控温,精确FII调节控温 |
| 晶圆载板 | 镀镍(金/非导电),与卡盘柔性连接,方便更换,载板平面度3μm≤10μm |
| 晶圆吸附类型 | 真空吸附 |
| 卡盘尺寸 | φ330*58mm |
| 电源220V 50HZ | 200~230V AC50/60HZ 16A max |
| 通讯方式 | ModbusRTU协议,RS485接口,选配CAN通信总线、以太网接口TCP/IP协议 |